霍爾效應測試儀主要用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數、導電類型等重要參數,而這些參數是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的,因此霍爾效應測試儀是理解和研究半導體材料電學特性的工具。
相比于傳統的霍爾效應測試儀,光霍爾效應測試儀可以通過改變照射在樣品上的不同波長的光源(紅、綠、藍光源)及光源輻照強度,得到載流子濃度、遷移率、電阻率及霍爾系數等半導體電學重要參數隨光輻照強度變化的曲線。ECOPIA公司的HMS-7000光霍爾效應測量系統由恒電流源、范德堡法則終端轉換器、光源及光路系統及磁場強度輸入系統組成。
光學模塊

HMS-7000光霍爾效應測試儀軟件界面
通過HMS-7000主機及霍爾效應測試儀軟件控制光源及馬達自動完成測試,并繪制出載流子濃度、遷移率、電阻率及霍爾系數隨光源強度變化的曲線如下:
