上海載德半導體技術有限公司
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產品概要： 韓國Ecopia公司生產，樣品尺寸：15mm X 20mm。RTP-1200特點：使用單相電，普通照明電即可使用；風冷設計、無須采購冷水機；真空退火，可以使用氫氮混合氣(
RTP-1200小型快速退火爐(RTP/RTA)為韓國進口的快速退火爐。
該儀器：尺寸小巧，使用風冷、無須水冷，電流要求不高(3安培)，性價比高，使用方便，非常適合科研院所的科研使用。
技術規格：
- 加熱方式：紅外鹵素燈，600W；
- 紅外燈數量：4支；
- 升溫速率：100℃/秒；
- 降溫速率：50秒(1000℃ → 400℃)；
- 溫度：1200℃；
- 溫度精度：+/-0.3℃
- 樣品尺寸：15 x 20mm；
- 退火環境：真空、惰性氣體、空氣、其他工藝氣氛(如氧氣、氫氮混合氣等)；
- 真空泵及極限壓力：機械泵，10-3Torr水平(選配)；
- 電壓：220 V，單相；
- 儀器尺寸：400*300*450mm (W*D*H)；
- 質量：凈重30Kg；
儀器特點：
應用領域：
參考用戶：
北京大學、南京大學、吉林大學、湖南大學、廣西大學、齊齊哈爾大學、西北大學、中科院北京納米所、中科院蘇州納米所、蘇州EST等。
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