中國.鑫有研電子科技有限公司
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臺式光刻機型號：USE-30R（標準教學型））簡單介紹：光刻機：(英文名：MaskALIGENER)又名曝光機,該型號光刻機創新采用采用雙目雙視場顯微鏡對準；球碗調平,單片機控制,觸摸開關,操作方便、實用性強
臺式光刻機
型號：USE-30R
（標準教學型））
簡單介紹：光刻機：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創新采用采用雙目雙視場顯微鏡對準；球碗調平,單片機控制,觸摸開關,操作方便、實用性強。整機具有性能可靠、操作方便等特點。
一．技術特征
1、采用國內的多點梯形反射鏡聚光和實現均勻照明，具有高的能量收集率和高均勻性照明性；
2、采用進口直流高壓汞燈，光功率穩定；
3、采用i線（365nm)紫外曝光光源，波長單一，光譜純凈；
4、高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和22英寸寬屏液晶，可同時觀察對準過程，適用大視場高倍率對準；
5、采用薄膜開關操作，數字設定曝光時間，倒計時數顯，曝光量可精確控制；
6、配置無油真空泵，無污染，噪音??；
7、關鍵器件采用進口國際品牌產品，整機可靠性高。
二．技術參數
1、曝光面積：120mm×120mm
2、曝光波長：365nm（純凈光源）
2、分辨力： 1.5μm
3、對準精度：：± 1μm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm Z：6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、直徑Ф15mm--Ф120mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
7、照明均勻性：±5%
9、掩模相對于樣片運動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：200W（直流、德國歐司朗） 或（直流、日本USHIO）
11、曝光量設定：定時曝光 定時（到計時方式 0.1s-9999.9s任意設定、設定精度0.1s）
12、雙目雙視場顯微鏡：物鏡三隊：4X、10X、20X，目鏡三對：10X、16X、20X
13、放大倍數，光學400X,電子800X
應用領域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等
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