該系列曝光機(jī)采用水冷式超高壓鹵素?zé)簟ED燈作為曝光燈源,配以高反光率精準(zhǔn)燈罩,在有效曝光范圍內(nèi),光均勻度高達(dá)80%以上。配合穩(wěn)定的大功率安定器,人性化的異常報警系統(tǒng),全面提升生產(chǎn)效率和品質(zhì)。
型號 | UVE-5000 | UVE-7000 | UVE-9000 |
電源 | AC380V 3φ 50Hz 24A 15kW | AC380V 3φ 50Hz 60A 34kW | AC380V 3φ 50Hz 60A 38kW |
氣源 | P≥0.6MPa | P≥0.6MPa | P≥0.6MPa |
外形尺寸 | L2100L×W1340W×H1700mm | L2800×W1420W×H1700mm | L2800×W1840W×H1700mm |
有效曝光面積 | Max:L610×W740mm | Max:L610×W960mm | Max:L610×W1200mm |
最小線寬線距 | 4/4mil | 4/4mil | 4/4mil |
作業(yè)板厚 | 0.1~3.2mm | 0.1~3.2mm | 0.1~3.2mm |
能量均勻性 | ≥80% (在有效尺寸內(nèi)9點(diǎn)法) | ≥80% (在有效尺寸內(nèi)9點(diǎn)法) | ≥80% (在有效尺寸內(nèi)9點(diǎn)法) |
能量設(shè)定 | 可設(shè)定單面或雙面曝光 | 可設(shè)定單面或雙面曝光 | 可設(shè)定單面或雙面曝光 |
燈源系統(tǒng) | 5kW×2燈(超高壓水銀燈) | 7kW×2燈(鹵素?zé)簦?/td> | 9kW×2燈(鹵素?zé)簦?/td> |
冷卻系統(tǒng) | 冷卻水塔 :5噸/冰水機(jī):3P | 冷卻水塔 :10噸/冰水機(jī):8P | 冷卻水塔 :15噸/冰水機(jī):10P |
燈管冷卻方式 | 燈管直接水冷 | 燈頭部分為空氣冷卻,燈管部分為間接水冷 | 燈頭部分為空氣冷卻,燈管部分為間接水冷 |
曝光臺面冷卻方式 | 強(qiáng)制氣冷可作溫度控制 | 強(qiáng)制氣冷可作溫度控制 | 強(qiáng)制氣冷可作溫度控制 |
機(jī)體顏色 | 整體烤漆,RAL7035 | ||
重量 | 830 kg | 1300 kg | 1500 kg |