該系列曝光機采用水冷式超高壓鹵素燈、LED燈作為曝光燈源，配以高反光率精準燈罩，在有效曝光范圍內，光均勻度高達80%以上。配合穩定的大功率安定器，人性化的異常報警系統，全面提升生產效率和品質。
| 型號 | UVE-5000 | UVE-7000 | UVE-9000 |
| 電源 | AC380V 3φ 50Hz 24A 15kW | AC380V 3φ 50Hz 60A 34kW | AC380V 3φ 50Hz 60A 38kW |
| 氣源 | P≥0.6MPa | P≥0.6MPa | P≥0.6MPa |
| 外形尺寸 | L2100L×W1340W×H1700mm | L2800×W1420W×H1700mm | L2800×W1840W×H1700mm |
| 有效曝光面積 | Max:L610×W740mm | Max:L610×W960mm | Max:L610×W1200mm |
| 最小線寬線距 | 4/4mil | 4/4mil | 4/4mil |
| 作業板厚 | 0.1～3.2mm | 0.1～3.2mm | 0.1～3.2mm |
| 能量均勻性 | ≥80% (在有效尺寸內9點法) | ≥80% (在有效尺寸內9點法) | ≥80% (在有效尺寸內9點法) |
| 能量設定 | 可設定單面或雙面曝光 | 可設定單面或雙面曝光 | 可設定單面或雙面曝光 |
| 燈源系統 | 5kW×2燈（超高壓水銀燈） | 7kW×2燈(鹵素燈） | 9kW×2燈(鹵素燈） |
| 冷卻系統 | 冷卻水塔 :5噸/冰水機:3P | 冷卻水塔 :10噸/冰水機:8P | 冷卻水塔 :15噸/冰水機:10P |
| 燈管冷卻方式 | 燈管直接水冷 | 燈頭部分為空氣冷卻，燈管部分為間接水冷 | 燈頭部分為空氣冷卻，燈管部分為間接水冷 |
| 曝光臺面冷卻方式 | 強制氣冷可作溫度控制 | 強制氣冷可作溫度控制 | 強制氣冷可作溫度控制 |
| 機體顏色 | 整體烤漆，RAL7035 | ||
| 重量 | 830 kg | 1300 kg | 1500 kg |
