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日本DNK科研曝光機MA-4301M光刻機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/7/1 9:13:20
  • 訪問次數412
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經營理念 堅持以人為本,與員工共進步,與客戶共攜手,與社會共生存,以實現“共存”為**目標。 服務理念:熱情、專注 社長致詞 玉崎株式會社創立于平成15年,專業從事光學設備銷售,經過幾年發展,項目也在不斷增加,公司開始進駐海外市場,深圳市京都玉崎電子有限公司,是玉崎株式會社全資設立的中國子公司,專業從事國內貿易/國際貿易業務,主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械加工設備、環境試驗設備、PC周邊用品、作業工具用品、電源、化學用品、FA自動化類上萬種產品的銷售。公司憑借雄厚的總公司資本實力,熟練的運營能力,完善的供應鏈及電子商務的銷售模式,為客戶搭建一個產品上等、種類齊全、價格實惠的銷售平臺。 公司擁有專業的銷售團隊、技術團隊、開發團隊、**的管理團隊,通過全員上下不懈地努力,憑借在工業品領域的專業水平和成熟技術,公司在消費電子、半導體、汽車行業迅速崛起,目前已在深圳、北京、上海、蘇州、重慶、成都等地設立了6家分公司。中國其他省市的分公司已在積極籌建之中。 目前已與海外廠商建立了長期穩定的合作關系,已獲取認證的品牌有代理日本品牌:OTSUKA大塚電子(薄膜測厚儀、偏光片檢測、納米粒度分析儀、ZATA電位儀、相位差膜·光學材料檢查設備、液晶層間隙量測設備等)、東機產業(粘度計)、CCS(視檢查光源)、Aitec(視檢查光源)、REVOX萊寶克斯(視檢查光源)、EYE巖崎(UV汞燈)、索尼克(風速計、流量計等)、坂口電熱(加熱器、制冷片)、NEWKON新光(針孔機)、富士端子(各種形狀端子,料多可定制)、NS精密科學(柱塞泵、高壓耐腐蝕防爆泵)。憑借專業銷售代理的經驗,成熟的產品,贏得了廣大客戶的信任。并將的信息技術、高科技產品,快速、高效的供應給客戶,為中國各地企業、工廠、以及個人用戶提供上等的產品和上等的服務。 京都玉崎公司恪守“誠信、品質、快速、貼心”的服務宗旨,建立了完善的運營管理體系和*的IT基礎設施,在滿足不斷增長的服務需求的同時,通過減少中間環節,并提供便利的配送服務,將實惠和安心送到每個客戶手中。
簡單介紹: 主要特長利用本公司開創的高速圖像處理技術, 實現了Wafer與掩膜的高精度對位。裝載機側和卸載機側*多可設置兩個籃具(選購項)。備有冷卻機構,可進行基板臺與掩膜的溫度管理(選購項)。搭載本公司開創的鏡面光學系統爆光燈房(LAMP HOUSE)。從而實現了照射面內的均勻性以及高照度。搭載非接觸預對位系統(PREALIGNER)。從而實現了高精度進給且保證基板不受任何損傷。搭載有自動掩膜更換機。并可支持掩膜存放庫。
日本DNK科研曝光機MA-4301M光刻機 產品信息
詳情介紹:

光刻機介紹

曝光裝置  MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″ 

光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW

曝光裝置 MA-1400  基板追大尺寸400 x 400mm

光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW

LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″

光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW

?200mm/?150 mm 對應曝光裝置MA-4301M   材料SI 玻璃, 對齊精度自動對齊:+/- 1 μm(
峰值搜索)

?300mm對應曝光裝置MA-5301ML  光源超高壓汞燈:3.5kW  ?200mm規格也可對應

マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s  有效曝光區域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
マスクレス露光裝置MX-1201E  曝光掃描速度22.5mm/s  有效曝光區域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135

マスクレス露光裝置MX-1205  曝光掃描速度9/4.5mm/s  有效曝光區域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50

主要規格

  MA-4301M
Wafer尺寸 材料 Si,Glass
尺寸 Φ6″ x t0.625 mm(6″ = Φ150 mm) +/- 0.2 mm
Φ8″ x t0.725 mm(8″ = Φ200 mm) +/- 0.2 mm
節拍時間 Proximity exposure:19 s/wafer
(One parallelism compensation per lot)
對位精度 自動對位:+/- 1 μm
(Peak search)
間隙 1 to 200 μm Servo motor
Setup resolution:1 μm
曝光方式 Soft contact exposure
Hard contact exposure
Proximity exposure
尺寸?重量 本體尺寸:W 1800 x D 1650 x H 2015 mm
總重量(including lamp house):1400 kg

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