JSM-F100集成了備受推崇的In-lens Schottky Plus Gun和電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine，一個(gè)新開發(fā)的操作GUI“SEM Center"和一個(gè)創(chuàng)新的Live-AI filter, 實(shí)現(xiàn)了高空間分辨率成像觀察和高可操作性。JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50

詳細(xì)介紹

◇ 新操作導(dǎo)航SEM Center-集成了EDS操作

新開發(fā)的操作GUI“SEM Center"將SEM成像觀察和EDS分析整合在一起，實(shí)現(xiàn)了圖像觀察和元素分析的無(wú)縫數(shù)據(jù)采集。

◇ 新功能Zeromag

“Zeromag"，結(jié)合了從光學(xué)圖像到SEM成像的無(wú)縫轉(zhuǎn)換，很容易定位試樣目標(biāo)微區(qū)。

◇ 新功能Live-AI filter(實(shí)時(shí)圖像視覺增強(qiáng)器人工智能過(guò)濾器) option

配備人工智能Live-AI filter。與圖像集成處理不同，這種新的過(guò)濾器可以顯示無(wú)縫移動(dòng)的實(shí)時(shí)圖像，沒有殘留圖像。這種的特征對(duì)于快速搜索觀察區(qū)域、聚焦和消像散調(diào)整非常有效。

◇ In-lens 肖特基-Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍(FEG)

電子槍和低像差聚光鏡的增強(qiáng)集成實(shí)現(xiàn)了更高的亮度。能夠有效收集電子槍產(chǎn)生的電子，即使低加速電壓下也能得到數(shù)pA-數(shù)十pA的電流，支持高分辨觀察、高速元素分析和EBSD分析。

◇ 混合透鏡(HL)

混合透鏡(HL)是靜電和電磁場(chǎng)透鏡的組合，支持從磁性材料到絕緣體等各種樣品的高空間分辨率成像和分析

◇ Neo Engine

Neo Engine是一種前沿的電子光學(xué)控制系統(tǒng)，在自動(dòng)功能的精度上有了顯著的提高，可操作性也更高。即使變更電子光學(xué)條件，光軸也不偏差，操作性和觀察精度大幅提高。可以說(shuō)是JEOL電子光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶。

◇ ACL

JSM-F100包括一個(gè)光闌角孔優(yōu)化透鏡(ACL)。ACL抑制入射電子的擴(kuò)散，以始終保持最小的探頭。這是通過(guò)對(duì)孔徑角度的優(yōu)化控制來(lái)實(shí)現(xiàn)的，以適應(yīng)探頭電流的大變化，使掃描電鏡的操作包括高分辨率成像和x射線分析順利進(jìn)行。

◇ 檢測(cè)器

4個(gè)檢測(cè)器。標(biāo)配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可選件RBED、USD

UED and USD

RBED and SED

分辨率(1 kV)	1.3納米
分辨率(20 kV)	0.9納米
加速電壓	0.01至30 kV
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)器	高位電子檢測(cè)器(UED)，二次電子檢測(cè)器(SED)
電子槍	浸沒式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍
探頭電流	幾pA至300 nA (30 kV) 幾pA至100 nA (5 kV)
物鏡	混合式透鏡(HL)
樣品臺(tái)	全優(yōu)中心(eucentric)測(cè)角儀樣品臺(tái)
樣品移動(dòng)	X軸：70毫米，Y軸：50毫米，Z軸：2至41毫米傾斜： –5至70°，旋轉(zhuǎn)：360°
EDS檢測(cè)器	能量分辨率：133 eV或更低可檢測(cè)元素：B（硼）至U（鈾）