北京甄耀言科技有限公司
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規格 | XY軸 | θXθY軸 | Z軸 | θZ軸 |
有效行程 | ±50mm | ±3deg | ±50mm | ±5deg |
電機類型 | 直線電機 | 直線電機 | 直線電機 | 直驅電機 |
光柵分辨率 | 4.88nm（1vpp） | 4.88nm（1vpp） | 4.88nm（1vpp） | 0.04sec |
最小步長 | 100nm | 0.3sec | 100nm | 0.1sec |
重復定位精度 | ±0.2um | ±1sec | ±0.3um | ±1sec |
定位精度 | ±1um | - | ±1um | ±5sec |
速度 | 100mm/s | 30deg/sec | 15mm/s | 4rps |
負載 | 水平負載10kg，垂直使用負載請聯系廠家溝通 | |||
質量 | 整機重量20kg | |||
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