一、產品概述

SR系列膜厚傳感器提供快速、穩定的膜厚在線量測解決方案。

二、產品特點

■ 操作簡便、小巧易安裝；

■ 高速、高分辨率；

■ 多款定制測頭滿足多場景需求；

■ 寬光譜涵蓋多膜厚需求應用；

■ 適用在線膜厚量測與質量評估；

■ 寬光譜實現多應用場景需求。

三、測量原理

技術參數

 *1：用玻璃的折射率1.5計算

*2：用硅的折射率3.67計算

      *3：測量500 nmSiO2厚度的1σ

             *4：測量厚度大于30µm的Si膜的1σ

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專業從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發、制造與銷售的企業，公司由多位具有二十多年偏振光學測量經驗的專家聯合創辦，與華中科技大學緊密合作，是國內橢偏光學儀器領域頗具優勢的技術團隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創新示范區，立足光谷，面向，為科研和工業用戶提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。

產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學鍍膜、光刻材料等眾多領域。