中科艾爾（北京）科技有限公司
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工作壓力:真空至300psig(低壓) 真空至3000psig(高壓) ｜ 材質:316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~60℃(低壓) -10℃~40℃(高壓)
DV系列隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低泄漏率；適用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工藝氣體要求。
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022
密封墊 PCTFE
手柄 6063
工作壓力 真空至 300psig, 真空至 3000psig
爆破壓力 低壓 3000psig, 高壓 9000psig
流量系數 1/4" 為 0.25 , 1/2" 為 0.35，1/2"HF 為 0.7
工作溫度 低壓 -10 ～ 60℃ , 高壓 -10 ～ 40℃
內漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
適合超高純度氣體應用
高低壓兩種閥型
Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片
每臺閥門進行單獨的氦質譜檢測
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