六自由度并聯運動設計使其比串聯運動系統更加緊湊、更具剛性,動態范圍更大,無移動電纜:更穩定、摩擦更小 真空兼容型可達10-6百帕.
無刷直流電機尤其適合高旋轉速度。能夠精確對其進行控制并確保高精度。由于無滑動接觸,可無磨損地平穩運行,因此能夠實現較長的使用壽命。
科研和工業,標準和真空環境。用于微制造、醫藥技術、刀具控制。
技術參數:
| H-811.I2 | 單位 | 公差 |
主動軸 | X,Y,Z,θX,θY,θZ | | |
運動和定位 | | | |
X、Y向上的行程* | ±17, ±16 | 毫米 | |
Z向上的行程* | ±6.5 | 毫米 | |
θX、θY向上的行程* | ±10, ±10 | ° | |
θZ向上的行程* | ±21 | ° | |
促動器設計分辨率 | 5 | 納米 | |
X、Y向上的最小位移 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
Z向上的最小位移 | 0.08 | 微米 | 典型值 |
θX、θY、θZ向上的最小位移 | 2.5 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的空回 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
Z向上的空回 | 0.06 | 微米 | 典型值 |
θX、θY向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
θZ向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的重復精度 | ±0.15 | 微米 | 典型值 |
Z向上的重復精度 | ±0.06 | 微米 | 典型值 |
θX、θY向上的重復精度 | ±2 | 微弧度 | 典型值 |
θZ向上的重復精度 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y和Z向上的速度 | 20 | 毫米/秒 | |
θX、θY、θZ向上的速度 | 500 | 毫弧度/秒 | |
Typ. X、Y和Z向上的典型速度 | 10 | 毫米/秒 | |
Typ. θX、θY、θZ向上的速度 | 240 | 毫弧度/秒 | |
機械特性 | | | |
X、Y向上的剛性 | 0.7 | 牛/微米 | |
Z向上的剛性 | 8 | 牛/微米 | |
負載能力(底板為水平方向/任意方向) | 5 / 2.5 | 千克 | |
保持力,斷電(底板為水平方向/任意方向) | 15 / 2.5 | 牛 | |
電機類型 | BLDC電機 | | |
其他 | | | |
工作溫度范圍 | 0 到 50 | °C | |
材料 | 不銹鋼,鋁 | | |
質量 | 2.2 | 千克 | ±5 % |
電纜長度 | 0.5 + 3 | 米 | ±10 毫米 |