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安徽飛創儀器設備有限公司


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P-763 緊湊型XY納米定位系統

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產品簡介

精密級納米定位系統 雙軸，串聯運動

詳細介紹

精密級納米定位系統

雙軸，串聯運動。帶機械杠桿運動放大器的無摩擦柔性鉸鏈接頭。電容式位置傳感器實現穩定性和線性度

PICMA高性能壓電陶瓷驅動器

帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動器 使用壽命更長、防潮性能佳、工作溫度達80攝氏度

應用領域

科研和工業中的樣本操作和定位，也適用于透射光應用

技術參數：

初步數據

P-763.22C


單位

主動軸

X, Y


運動和定位

集成傳感器

電容式傳感器

X、Y向上的閉環行程

200

微米

X、Y向上的開環分辨率

1

納米

X、Y向上的閉環分辨率

2

納米

X、Y向上的線性誤差

0.02

%

X、Y向上的重復精度

±5

納米


機械特性

帶負載時X向上的諧振頻率

180赫茲（260克）

赫茲

負載容量

10

牛


驅動特性

壓電陶瓷

PICMA P-887

X、Y向上的電容

12.8

微法


其他

工作溫度范圍

-20 到 80

°C

材料

鋁、鋼

尺寸

70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米

通孔尺寸

30毫米×30毫米

電纜長度

1.5

米

連接

1個Sub-DMix，1個通道，分別用于X和Y軸


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