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陶瓷基板激光打孔機

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更新時間：2023-09-09 10:44:26瀏覽次數：400次

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廣東國玉科技股份有限公司

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產品簡介

陶瓷基板激光打孔機是目前應用較為廣泛的陶瓷基板打孔設備，它具有高精度、高效率、非接觸等優點，可以實現微米級別的孔徑和孔距控制，適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。

詳細介紹

LTCC、HTCC 的生瓷基板加工。

自動上下料系統、視覺對位系統，激光打孔系統、冷卻系統、吸塵系統、軟件控制系統等。

名稱	規格
單平臺尺寸	≥300mm*300mm
激光可加工區域	≥280mm*280mm
激光波長	355nm
激光平均功率	≥15W
單脈沖能量	≥300μJ
脈沖寬度	＜25ns
X/Y/Z軸重復精度	±1μm
生瓷片180mm×180mm范圍內通孔位置精度	優于±15μm
CCD對位精度	優于±15μm
下料、上料間隔時間	≤10s
加工速度（雙激光頭）	≥3600孔/分鐘（0.34mm綠色HTCC生瓷片，0.15mm通孔）
通孔錐度	優于94%，（0.34mm綠色HTCC生瓷片，0.15mm通孔）
通孔圓度	優于95%（0.34mm綠色HTCC生瓷片，0.15mm通孔）
最小加工孔徑	0.08mm（0.15mm綠色HTCC生瓷片）
加工厚度	1.2mm，上下面尺寸差小于0.03mm(綠色HTCC生瓷片，2mm*2mm方腔)