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安捷來國際股份（香港）有限公司


日本YAMATO等離子清洗機MPC600

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產品型號MPC600

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廠商性質其他

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更新時間：2023-08-24 08:41:57瀏覽次數：392次

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產品簡介

詳細介紹

日本YAMATO等離子清洗機MPC600：

MPC600
  • RIE ? DP mode
  • Electrode stage - up to6inch
  • RF power is up to MAX. 600W
  • One touch control
  • Made of quartglasschamber

Specifications

Model MPC600
Method RIE ?DPmode
Electrode Aluminumroundtype
RFgenerator 50 - 600W
Oscillatingfrequency 13.56MHz
Controlsystem Digitaldisplaywith one touch operation
Chamber Adapted for 6inchwafer
Chambermaterial SUS
Reactiongas O2,Ar,CF4
Purge gas N2 orDryair
Flow meter Massflowcontrol
Vacuumpump 5000L/min
Gas system 2 line(Reactiongas) , 1 line (Purge)
Externaldimension (W)650 x (D)700x(H)1,480mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A

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