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安捷來國際股份（香港）有限公司


日本YAMATO等離子清洗機CV600

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產品型號CV600

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廠商性質其他

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更新時間：2023-08-24 08:40:24瀏覽次數：431次

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產品簡介

詳細介紹

日本YAMATO等離子清洗機CV600：

CV600

Specifications

Model CV600
Plasmamode RIE ? DP
Electrode Parallelflatstage plate
RFgeneratorpower 100 - 600W
Oscillating 13.56MHz
Controlsystem Digitaldisplayａnd one touch control
Chamber (W) 310 x (D)220x (H) 140mm
Electrodestage (W) 230 x(D)140mm
Chambermaterial SUS
Reactiongas O2,Ar
Purge gas N2 orDryair
Flow meter Flow meter
Vacuumpump Vacuumpump(120L/min)
Gas system 2 line andpurgeline
Externaldimensions (W) 480 x (D)500x(H) 1,065mm
Powersupply(50/60Hz) AC200/220/380VThree phase 7A

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