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晶圓清洗機(jī)（自動(dòng)-落地型）

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品       牌

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商鋪產(chǎn)品：51條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：楊小姐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備概要：適用尺寸：2"-12"Wafer基材

詳細(xì)介紹

設(shè)備概要：
適用尺寸：2"-12"Wafer基材。
基本規(guī)格：
外觀材質(zhì)：本體以SUS 304亮面板材質(zhì)組合而成。
設(shè)備骨架：鋁擠型骨架組合，結(jié)構(gòu)強(qiáng)固。
盆罩：SUS 304亮面鋼板Cup盆罩結(jié)構(gòu)。
盆罩掀蓋：氣缸傳動(dòng)，盆蓋未閉合無(wú)法旋轉(zhuǎn)作動(dòng)。
吸盤(pán)：鋁制吸盤(pán)陽(yáng)極硬化處理，具抗酸堿功能，吸盤(pán)表面平坦。
作業(yè)視窗：采透明PVC或玻璃材質(zhì)，掌握作業(yè)情況。
排風(fēng)系統(tǒng)：直接式抽風(fēng)設(shè)計(jì)，并同時(shí)減低異味。
排液系統(tǒng)。
馬達(dá)：AC Motor（轉(zhuǎn)速：30~1800 RPM）。
擺臂：直徑擺動(dòng)AC Motor。
機(jī)臺(tái)安全保護(hù)。
電控系統(tǒng)：
軟件：PLC可程式自動(dòng)化控制器。
使用操作界面：人機(jī)。
配方模塊：6組配方設(shè)定。
段數(shù)設(shè)定：每一配方模塊均設(shè)7段段數(shù)，
可設(shè)定加速度及時(shí)間控制。
密碼設(shè)定：可依權(quán)限設(shè)定密碼保護(hù)。

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