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Pfeiffer 普發 APA 302 無菌室監控系統、環境

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產品型號pfeiffer普發

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更新時間：2023-05-08 11:33:28瀏覽次數：465次

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蘇州震拓自動化設備有限公司

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產品簡介

類型：無菌室監控系統品牌：pfeiffer普發型號：APA 302描述：普發污染管理解決方案

詳細介紹

Pfeiffer 普發 APA 302 無菌室監控系統、環境

普發 APA 302 無菌室監控系統、環境.jpg

產品規格：

應用:
用于無菌室, 環境

產品介紹：

在潔凈室環境下，APA 302 是用于*芯片制造的在線監測工具。這臺革新性設備可以測量 FOUP 和周圍環境中的空氣分子污染物（簡稱 AMC）。該測量實時發生，在 ppbv 范圍內具有很高的靈敏度。

有效的污染監測
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時間內，在 FOUP 槽對槽的空間里被釋放出來。而這些元素會在圖樣晶圓上生成晶體生長，從而導致產量的損失和性能的退化。普發真空的 APA 302 通過 FOUP 過濾器來對 AMC 進行采樣。在 ppb 的范圍內，通過離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術，測量在 2 分鐘內發生，具有高靈敏度。而當負載端口上沒有 FOUP 時，APA 302 會監控周圍的潔凈室環境。

FOUP 環境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動校準功能，它會在定期的時間間隔內被激活。對于在 APA 中對 AMC 的監控，可在有晶圓或無晶圓的 POD 中執行。FOUP 可以手動傳送，也可通過 2 個負載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。因此，可優化各工藝步驟間的等待時間，污染的增加量能立刻被察覺到，且產量增加。

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