杭州華盼科技有限公司
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簡要描述：桌面型探針式表面輪廓儀
DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設計創新，實現了垂直高度重復性高達4埃，數據采集能力提高了40%。這一里程碑的創新和突破，使得DektakXT實現了納米尺度的表面輪廓測量，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。
技術創新四十余載，不斷突破用攀高峰
Dektak品牌是基于微處理器控制的輪廓儀，實現微米測量的臺階儀，可以達到3D測量的儀器，個人電腦控制的輪廓儀，全自動300mm臺階儀。現在，全新的DektakXT延續了這種開創性的風格，成為世界*臺采用具有具有單拱龍門式設計，配備D攝像機，并且利用64位同步數據處理模式完成較佳測量和操作效率的臺階儀。
提高測量和數據分析速度
采用高速的直接驅動掃描樣品臺，DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大縮短了每次掃描的間隔時間，將數據采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布魯克具有64位數據采集同步分析的Vision64，可以提高大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度，并且可以加快數據濾波和多次掃描數據庫分析的速度。
提高操作的可重復性
使用單拱龍門結構設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統和環境噪音引起的測量誤差降到較低，能夠更穩定可靠的掃描高度小于10nm的臺階，獲得其形貌特征。
完善的數據采集和分析系統
與DektakXT的創新性設計相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上較實用簡潔的用戶界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數的自助設定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現各種類型數據的采集和分析。
簡便易行的實驗操作系統
DektakXT新穎的探針的部件自動對準裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現針尖損傷等意外。為盡可能滿足所有應用的需求，布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針。
高效率的保證
DektakXT的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量，使其可以精確調節刻蝕和鍍膜工藝來提高產品的優良率。
臺階儀Dektak XT能實現：
的性能，臺階高度重現性低于4埃
Single-arch設計提供具突破性的掃描穩定性
*的“智能電子器件”設立了新低噪音基準
新硬件配置使數據采集時間縮短40%
64-bit，Vision64同步數據處理軟件，使數據分析速度提高了10倍
頻率，操作簡易
直觀的Vision64用戶界面，操作簡易
針尖自動校準領域，的價值
布魯克（Bruker）以實惠的配置實現較高的性能
單傳感器設計，提供單一平面上低作用和寬掃描范圍
規格：
測量技術：探針輪廓儀DEKTAK XT
測量功能：二維表面輪廓測量/可選三維測量
樣品視景：可選放大倍率，1to4mmFOV
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS3）
探針壓力：使用LIS3傳感器：1至15mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50nm至25μm；高徑比（HAR）針尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可按客戶要求定制針尖
樣品X/Y載物臺：手動X-Y平移：100mm(4英寸）；機動X-Y平移：150mm（6英寸）
樣品旋轉臺：手動，360°旋轉；機動，360°旋轉
計算機系統：64-bit多核并行處理器，Windows7；Optional23英寸平板顯示器
軟件：Vision64操作及分析軟件；應力測量軟件；縫合軟件；三維掃描成像軟件
減震裝置：減震裝置可用
掃描長度范圍：55mm（2英寸）
每次掃描數據點：較多可達120000數據點
較大樣品厚度：50mm(2英寸）
較大晶圓尺寸：200mm(8英寸）
臺階高度重現性：＜4埃，1sigma在5μm垂直范圍下）
輸入電壓：100-240VAC，50-60Hz
溫度范圍，運行范圍：20到25℃
濕度范圍：≤80%，無冷凝
系統尺寸及重量：455mmW×550mmD×370mmH（17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H)；34公斤（75磅）；
附件：550mmL×585mmW×445mmH（21.6in.L×23in.E×17.5in.H)；21.7公斤（48磅）
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