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碳化硅涂層

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產品型號SiC

品牌

廠商性質其他

所在地杭州市

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更新時間：2023-08-23 13:14:41瀏覽次數：274次

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杭州華盼科技有限公司

經營模式：其他

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產品簡介

簡要描述：無

詳細介紹

一、產品概述
SIC 涂層具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性，物理化學性能穩定。SIC涂層作為一種新耗材，在MOCVD設備、粉末燒結等工序上逐漸代替高純石墨。
二、主要特點
1.高溫抗氧化：溫度高達1600℃時抗氧化性能仍非常好。
2.純度高：高溫氯化條件下采用化學氣相沉積方法制得。
3.耐沖刷：硬度高、表面致密、顆粒細。
4.抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機試劑腐蝕。
5.化學性能穩定、熱導率高、熱膨脹系數小、耐磨性能好
三、產品應用
1、用作硅外延生長用基座
2、用作單晶硅生長爐內的爐具配件
3、MOCVD用基座
4、用于加熱器
5、用作耐氧化材料
6、用于均熱板