主動隔振光學平臺DVIA-MO系列特點:
•具有非常優良的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz-10Hz達到90%以上的隔振效率;
•采用慣性傳感器,可以檢測出六個自由度的振動并做補償;
•采用真蜂窩三層夾心式結構臺面,厚度可選100/200/300mm;
•進口精密主動隔振光學平臺;
•隔振性能優異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀 ,半導體檢測設備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等
細節說明:
應用案例

光學平臺隔振性能參數: 主動隔振光學平臺DVIA-MO系列技術指標: • 固有頻率:0.5-100Hz
• 自動平衡,相應時間短,平衡速度快
• 鋼制真蜂窩結構,:0.25mm厚箔
• 蜂窩芯尺寸 :3.2cm2 (0.5 in²)
• 表面平整度:±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)
• 上臺面 :4mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼
• 下地面 4.5厚碳鋼,表面氧化處理
• 邊墻板 2.0mm厚碳鋼。包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔徑: M6 (英制螺孔可選)
• 孔距:25mmX25mm(英制孔距可選),*外邊孔距平臺邊緣37.5mm
• 螺孔密封:每個螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封,方便清潔
• 阻尼隔振方式:寬帶阻尼
DVIA-M系列主動隔振器參數表: