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SPECTRUM 高分辨率輝光放電光譜儀 GDA 650/GDA 150

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GDA650/GDA150的成功推出,意味著以CCD檢測(cè)器為代表技術(shù)的輝光放電光譜儀進(jìn)入了新的高度。GDA650/GDA150裝備有一代的CCD固態(tài)檢測(cè)器,與高分辨率光學(xué)系統(tǒng)匹配。..

詳細(xì)介紹


  GDA 650/GDA 150的成功推出, 意味著以CCD檢測(cè)器為代表技術(shù)的輝光放電光譜儀進(jìn)入了新的高度。

  GDA 650/GDA 150裝備有一代的CCD固態(tài)檢測(cè)器,與高分辨率光學(xué)系統(tǒng)匹配。新一代的CCD檢測(cè)器不但具備傳統(tǒng)光電倍增管的低噪聲、寬動(dòng)態(tài)范圍的特點(diǎn),而且還具備優(yōu)異的分辨力和全譜數(shù)據(jù)采集能力,特別適合同時(shí)需要高精度檢測(cè)和分析靈活性的用戶。

  高分辨率CCD光學(xué)系統(tǒng)使得GDA 650/GDA 150具備無(wú)限的擴(kuò)展能力, 允許使用者在任何分析方法下任意擴(kuò)展和增加任何分析通道。

  這種靈活性允許進(jìn)行快速的基體總量和涂鍍層分析,所有元素,包括O,N,C等非金屬元素均可進(jìn)行定量分析。

  在含量-深度測(cè)量中,分析深度可達(dá)200um以上, 層分辨率可達(dá)納米級(jí)。GDA 650/GDA 150也可進(jìn)行基體總量分析,尤其對(duì)于復(fù)雜基體,具備優(yōu)異的線性校準(zhǔn)曲線。檢出限可達(dá)ppm級(jí)。

  GDA 650/GDA 150裝備有一代的輝光激發(fā)光源,濺射直徑從1mm至8mm。采用通用樣品夾具(USU),也可進(jìn)行小樣品和異形樣品的分析,無(wú)需更換特殊電極。

  GDA 650也可選裝配置脈沖式射頻光源(選裝件),用于分析非導(dǎo)體材料。

  采用脈沖式射頻光源后,可分析非導(dǎo)體、熱敏感樣品,如:陶瓷、玻璃、有機(jī)涂層、有機(jī)薄膜。還可選裝配置特殊樣品轉(zhuǎn)移室(選裝件),用于分析極薄的薄膜和在空氣中易氧化的薄膜。
 

激發(fā)光源

同一激發(fā)光源允許安裝直徑為1mm至8mm電極,從而保證優(yōu)秀的穩(wěn)定性和重復(fù)性

-高效的樣品直接冷卻。可直接分析熱敏感樣品、極薄的金屬薄膜和有機(jī)薄膜。如可直接分析50um的不銹鋼薄膜

-優(yōu)化的氬氣流量控制,可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)低檢出限和高深度分辨率

-專門設(shè)計(jì)的自動(dòng)清掃裝置,保證了高精度、高重復(fù)性測(cè)量樣品分析厚度45mm,最小厚度50um

-程序自動(dòng)控制的直流光源(DC),電壓可達(dá)1500V,電流250mA

-程序自動(dòng)控制的射頻光源(RF),功率150W,電壓、電流自動(dòng)監(jiān)控,實(shí)時(shí)等離子自動(dòng)調(diào)節(jié)、脈沖工作模式(選裝件、僅GDA 650有效)

-選裝件:自動(dòng)進(jìn)樣器,程序控制100位

 
光學(xué)系統(tǒng)

高性能CCD光學(xué)系統(tǒng),光譜范圍120--800nm

-光譜分辨率優(yōu)于20pm(FWHM)
 
-Paschen-Runge光學(xué)系統(tǒng), 焦距400mm

-全息原刻光柵,2400線/mm

-光室恒溫控制,儀器穩(wěn)定性優(yōu)異

-可無(wú)限制的配置分析通道,所有元素同時(shí)檢測(cè)

-方便易操作的透鏡清潔,可立即進(jìn)行分析

-CCD檢測(cè)器的靈敏度可自動(dòng)調(diào)節(jié)

 
真空系統(tǒng)

-全不銹鋼殼體,可充分保證痕量元素的分析,尤其對(duì)于N元素分析

-光室真空采用二級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片真空泵,噪音<50dB

-單泵設(shè)計(jì),同時(shí)運(yùn)用于光源和光室

-特殊的旋片真空泵,可限度的減少C,H元素的污染

-內(nèi)置安全閥設(shè)計(jì),以避免突然斷電對(duì)旋轉(zhuǎn)葉片泵的損害

-選裝件:渦輪分子泵

-選裝件:旋轉(zhuǎn)葉片真空泵可用無(wú)油真空泵替代
 

WinG DOES軟件

-WindowsXP或更高平臺(tái)運(yùn)行

-使用界面簡(jiǎn)單、易懂,分級(jí)管理和操作

-功能強(qiáng)大

-方法建立簡(jiǎn)便,在線指導(dǎo)

-校準(zhǔn)樣品管理,樣品添加

-多種校準(zhǔn)模式

-基體總量元素測(cè)量校準(zhǔn)

-QDP定量分析校準(zhǔn)

-用戶定制測(cè)量報(bào)告模式

-數(shù)據(jù)處理和再處理功能

-多種格式數(shù)據(jù)輸出

-分析過(guò)程中界面語(yǔ)言切換


應(yīng)用

-熱處理

精確測(cè)量所關(guān)心元素的含量-深度分布,定性、定量檢測(cè)表面污染物、夾雜物和物相比例

-涂鍍層

可獲得涂鍍層完整的化學(xué)組分信息、層厚度,元素含量-深度分布。非導(dǎo)體涂鍍層,如:油漆、釉等可采用RF光源分析

-硬質(zhì)合金層

快速分析硬質(zhì)合金層和熱處理工件的滲層化學(xué)組分

-陶瓷

采用RF光源可精確可靠的測(cè)量

-化學(xué)組分

精確測(cè)量化學(xué)元素含量

高精度、高重復(fù)性檢測(cè)

快速分析:<60s

可分析從H至U的所有元素, 檢測(cè)范圍從ppm至99%

-太陽(yáng)能電池薄膜

檢測(cè)太陽(yáng)能光伏電池薄膜中化學(xué)元素含量分布,如:Cu(In,Ga)Se,采用RF光源可精確可靠的測(cè)量



輝光放電光譜儀主要應(yīng)用領(lǐng)域

-汽車制造及零部件

-金屬加工、制造

-冶金

-航空、航天

-電子工業(yè)

-玻璃、陶瓷

-表面處理:化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積等

-電鍍

-光伏電池、鋰電

-科學(xué)研究



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