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全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)

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詳細(xì)介紹

基片尺寸

ψ50mm～ψ200mm

Cassette 晶舟

2-4個(gè)晶舟

Coater Unit 涂膠單元

1、PR類(lèi)型：正膠/ 負(fù)膠；2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個(gè)； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)

Robot Arm 機(jī)械手臂

3軸; X1, X2, X3

Hot Plate熱盤(pán)單元

溫度50℃-180℃

Cooling Plate冷盤(pán)單元

溫度18-28℃

機(jī)臺(tái)尺寸

D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)

顯影機(jī)基片尺寸

ψ50mm～ψ300mm

Developer 顯影單元

1、可應(yīng)用噴頭 Spray, Stream, E2 , H ；2、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 5,000rpm

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