高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時間：2023-12-23 22:00:56瀏覽次數：213次

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束倫（上海）技術服務有限公司

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產品簡介

性能指標電鏡分辨率:1.5nm@15kV

詳細介紹

性能指標

電鏡分辨率: 1.5nm @ 15kV；2.0nm @ 10kV；3.0nm @ 5kV
加速電壓: 500V～30kV
束流大小: 20nA
電鏡物鏡模式: 磁浸入模式UHR、無磁場模式HR
電鏡檢測器: 高真空二次電子檢測器(SE)、極靴內二次電子檢測器(TLD)、極靴內背散射電子檢測器(TLD-B)、四分固體式背散射電子探測器(BSE)、樣品室紅外CCD探測器
能譜分辨率: 129eV(Mn Kα)
能譜元素檢測范圍: B5～U92

主要應用

固體樣品的微觀形貌、結構，樣品的微區(qū)元素成份及線分布、面分布，廣泛應用于納米技術、材料、物理、生物、化學、熱能、地球科學、環(huán)境、光電子等領域。
粉末、微粒樣品形態(tài)的測定金屬、陶瓷、礦物、水泥、半導體、紙張、塑料、食品、農作物、細胞等材料的顯微形貌分析復合材料界面特性的研究。
材料中元素定性分析、定量分析、線分析、面分析材料及電子器件失效分析。

樣品要求

樣品中不得含有鐵（Fe）、鈷(Co)、鎳(Ni)。
樣品不得具有磁性，并且不易被磁化。
樣品中不得含有水分。
樣品高度小于15mm，直徑小于30mm。
多孔類或易潮解的樣品，請?zhí)崆罢婵崭稍锾幚怼?/span>
樣品應具有導電性。
若樣品不導電，需要進行鍍金、碳等導電膜的處理（本實驗室也提供鍍膜服務，但需要另行收費）。

儀器說明

儀器名稱：高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡硅漂移探測器能譜儀 Field-emission Scanning Electron Microscopy & Energy Dispersive Spectrometer 儀器型號：Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS) 儀器縮寫：SEM 生產廠家：美國FEI公司& 英國Oxford公司安裝日期：2005年關鍵詞：掃描電鏡 SEM 能譜儀 EDS 微觀形貌表面形貌元素成分元素分布儀器簡介： Sirion 200型掃描電子顯微鏡具有超高分辨率，該儀器能實現對各種固態(tài)樣品表面形貌的觀察，獲得表面形貌的二次電子像、背散射電子像。該儀器配備的x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量分析。

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