喜開理（中國）有限公司
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【停產產品】代替產品：IAVB系列通過馬達驅動調整閥的開度，實現了多種導率的電動真空閥。行業半導體制造工序（前工序）半導體制造工序（后工序）
【馬達驅動，30點開度設定】
根據外部信號通過馬達驅動調整開度。
最小間距0.15mm（NW25時）。
簡易的導率可變系統及真空控制的自動化。
【開度監視功能、各種信號輸出功能】
內置編碼器，可監視當前開度。
具備閥開、閥閉狀態的動作完成信號、報警輸出功能，使用更放心。
| 型號 | 名稱 | 配管方式 | 備注 |
|---|---|---|---|
| EVB※17 | 電動真空閥 | NW25, 40, 50 | 2021年03月31日 銷售中止舊的目錄 |
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