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圓派科學儀器(上海)有限公司


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Prisma & Prisma EX多功能環境真空鎢燈絲分析掃描電子顯微鏡

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產品簡介

憑借過去 60 年的技術創新歷史和業內, FEI 成為了透射電子顯微鏡 (TEM)、 掃描電子顯微鏡 (SEM)、整合了 SEM 與聚焦離子束 (FIB) 的 DualBeam™ 儀器和 用于精密高速切割與加工的專用聚焦離子束儀器的性能標準。 FEI 成像系統在三維 表征、分析和修改/原型設計領域實現了亞埃(埃:十分之一納米)級分辨率。

詳細介紹

Prisma & Prisma EX多功能環境真空鎢燈絲分析掃描電子顯微鏡

  • 一款真正多用途實驗室用性能全面、易操作的SEM鎢燈絲掃描電子顯微鏡
  • 具有的ESEM™環境真空模式
  • 高真空、低真空和ESEM™環境真空三種真空模式,適合分析泛的樣品,樣品范圍包括導電材料、不導電材料、脫氣、未鍍膜或其他不適用真空的樣品。
  • 一系列集成的實時分析軟件來完成動態的實驗檢測分析。
  • 低真空和ESEM環境真空能夠滿足非導電材料和含稅樣品的檢測分析
  • 原位功能使即使是絕緣的或高溫的樣品也能獲得可靠的分析結果。
  • 支持掃描前的預設置,具有導航和SmartScanTM功能的相機提高了工作效率、數據質量和滿足更高要求的使用要求。
  • -165°C to 1400°C溫度范圍下的原位分析
  • 加速電壓: 200 V - 30 kV
  • 電子放大倍數: 6x – 1,000,000x (可同時采集和顯示四幅圖像)
  • 探測器:高真空模式Everhart-Thomley二次電子探測器(E-T SED);低真空SE探測器(LVD);ESEM環境真空模式氣體二次電子探測器(GESD);樣品室紅外CCD相機
  • 真空系統:1個250L/s渦輪分子泵,1個旋轉機械泵;的“穿過透鏡”的壓差真空系統;排氣時間≤3.5min到高真空,≤4.5min到ESEM真空/低真空;可選CryoCleaner冷阱;可選升級到無油滾動/干式PVPs
  • 樣品室:

o 內徑 340 mm

o 分析工作距離 10 mm

o 12個附件接口

o EDS采集角: 35°

  • 分辨率:

高真空模式

  • 3.0 nm @ 30 kV (SE)
  • 4.0 nm @ 30 kV (BSE)*
  • 8.0 nm @ 3 kV (SE)

高真空下減速模式

  • 7.0 nm @ 3 kV

低真空模式

  • 3.0 nm @ 30 kV (SE)
  • 4.0 nm @ 30 kV (BSE)
  • 10 nm @ 3 kV (SE)
  • ESEM環境真空
    • 3.0 nm @ 30 kV (SE)

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