蘇州汶顥微流控技術股份有限公司
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WH-PXY-01型顯影機是一種小型的實驗室用自動噴淋顯影機，適配3-5寸基材，液量范圍10-500ml,轉速400RPM，顯影時間900s
產品簡介
噴淋式顯影機（WH-PXY-01）是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品，針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發的，可以對5英寸以下規格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環節，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控，上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。
技術參數
2轉速：0～400RPM；
2液量控制：10～500mL；
2適配硅片/芯片：3寸、4寸、5寸；
2顯影時間：0～900s；
2進液速度：0～99%；
2電源輸入：AC220V±10V/50HZ；
2功率：100W；
2重量：20 kg；
2外形尺寸：410（W）* 410（D）* 350（H）mm；
2工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %；
特征圖解
特征圖解1
特征圖解2
備注：如需了解產品價格及其他技術內容可咨詢我司客服！
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