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BPG402-Sx 系列真空計

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更新時間：2022-10-26 11:57:54瀏覽次數：236次

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產品簡介

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中，測量范圍為5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

詳細介紹

 

INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。傳感元件自帶的在軌校準數據在更換傳感器時確保了高再現性。

BPG402-Sx

益處

  • 測量范圍非常廣，從 5×10-10毫巴至大氣壓（8×10-10 托至大氣壓）
  • 10-8… 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
  • 皮拉尼聯鎖保護單絲，防止過早燒毀
  • 兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
  • 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
  • RoHS 合規

典型應用

  • 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

 


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