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ZPT-S大理石隔振光學平臺

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產品簡介

ZPT-S大理石隔振光學平臺產品特點：■臺面材料采用優質濟南青大理石

詳細介紹

ZPT-S大理石隔振光學平臺

產品特點：

■臺面材料采用優質濟南青大理石，表面精度高，耐腐蝕性強

■內置精密空氣彈簧隔振系統，具備優異的隔振性能，自動調節水平功能

■該產品適用于平面度要求高的實驗

技術指標：

■平面度：00級
■固有頻率：1.0Hz～1.5Hz

■減振效率：x方向＜5Hz時：86%～92% y方向＜5Hz時：84%～90%

x方向＜10Hz時：90%～96% y方向＜10Hz時：88%～93%

■振幅：< 1.0μm
■重復定位精度：±0.05mm

接受客戶任意規格定制生產

（1）氣浮隔振型裝備地點：舜宇光學科技集團公司產品規格：1500*1200*800mm

（2）阻尼隔振型裝備地點：中山大學微電子學院產品規格：1500*1200*800mm

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