系統(tǒng)參數(shù)：

◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器

◆視場(chǎng):標(biāo)準(zhǔn)配置：0.04-16mm，跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍

◆視場(chǎng)放大倍率：高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭：0.5X,0.75X,1X（標(biāo)配），1.5X,2.0X

◆光源: 均勻成像，高效率，特殊設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED

◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

◆控制 :濾光板托架，視場(chǎng)光闌（輔助聚焦）

◆測(cè)量陣列:標(biāo)配1024×1024 像素；可選分辨率：512×512，1024X160像素

◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察

◆精密聚焦 :電控手動(dòng)和自動(dòng)聚焦

◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，100mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:系統(tǒng)尺寸：151×73×61cm ，NewView：75×64×56cm，隔振平臺(tái)：76X61X61mm

◆重量 :系統(tǒng)重量：約229Kg

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)

◆軟件:ZYGO MX軟件

◆物鏡座: 標(biāo)配：可快速裝卸單物鏡夾具,選配：手動(dòng)4位塔臺(tái)和電動(dòng)4位塔臺(tái)

◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

◆塔臺(tái):手動(dòng)6位塔臺(tái)；電控 64位塔臺(tái)；

◆樣品臺(tái):俯仰(±4°)和XY 平移(100mm)和電動(dòng)/俯仰(±4°)和XY 平移(150mm)電動(dòng)可選

◆縱向掃描范圍:150μm，拓展掃描模式可到20mm,

◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.34μm（100X物鏡下）

◆掃描速度 ≤96μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān)

◆大數(shù)據(jù)點(diǎn): 標(biāo)準(zhǔn)307200；可選984064；

◆RMS 重復(fù)性 ＜0.01 nm， RMSσ

◆臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

◆傾斜表面測(cè)量：光滑表面55度，散射表面86度。

◆測(cè)樣品特性:各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

◆反射率: 0.5-99%

◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));