產品特性：
 采用高精度南非花崗巖底座和立柱，確保機臺擁有的高穩定性和精確度；
采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內；
采用高精度儀器光學尺配合精密工作臺，確保機臺精度在≤2+L/200um以內；
采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色相機，確保畫質清晰無畸變；
采用程控式表面4環8區LED冷光源和透射LED平行光源，以及內置智能燈光調節模塊，可自由控制燈光在4環8區任何區域的亮度；
Z軸采用高精度直線導軌和伺服電機控制系統，實現自動對焦，消除人為聚焦誤差，提升測量精度和穩定性；
功能強大的iMeasuring2.2影像測量軟件，提升品質管控到新的臺階；
可選進口接觸式探針和三維測量軟件，輕松將機臺升級成為接觸式三次元測量機；
可選FexQMS測量數據分析及和實時監控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
主要技術參數：

儀器型號	ESNANO-2010F	ESNANO-2515F	ESNANO-3020F	ESNANO-4030F	ESNANO-5030F
儀器貨號#	521-140F	521-150F	521-160F	521-170F	521-180F
金屬工作臺	408x308mm	408x308mm	458x358mm	608x470mm	708x470mm
玻璃工作臺	306x198mm	306x198mm	356x248mm	456x348mm	556x348mm
X/Y軸行程	200x100mm	250x150mm	300x200mm	400x300mm	500x300mm
Z軸	高精度直線導軌和伺服電機控制系統，有效行程200mm
X/Y/Z軸分辨率	0.0005mm
X/Y軸精度	≤2+L/200(um)
重復精度	2um
底座和立柱	高精度花崗巖
照明系統（軟件調控）	表面4環8區無級可調LED冷光源，每區可獨立調控
	透射LED平行（面）光源
	LED鐳射導航指示燈
CCD	高分辨率700TVL彩色CCD
變焦物鏡	6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡
	光學放大倍率：0.7X~4.5X倍；視頻放大倍率：26X~172X
工作環境	溫度：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr
	濕度：30% ~80%RH
	震動<0.002g，低于15Hz
測量軟件	iMeasuring 2.2
操作系統	支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系統
操作語言	英文、簡體中文、繁體中文，可增加其他語言版本
外形尺寸(WxDxH)	790x617x1000mm	790x617x1000mm	838x667x1000mm	1002x817x1043mm	1002x867x1043mm
凈重	175Kg	175Kg	185Kg	350Kg	380Kg