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測(cè)量項(xiàng)目
粗糙度部分	Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr
輪廓儀部分	點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等）、高點(diǎn)、低點(diǎn)、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對(duì)數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)
粗糙度測(cè)量范圍
X軸	RA：0.005μm—16.00μm
Z1軸	±20μm、±40μm、±80μm
取樣長(zhǎng) 度 L	0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動(dòng)
評(píng) 定長(zhǎng) 度	1L—5L(可選 L為取樣長(zhǎng)度)
測(cè)量行程長(zhǎng)度	3L—7L(可選 L為取樣長(zhǎng)度)
輪廓儀測(cè)量范圍
X軸（橫導(dǎo)軌）	100mm
Z1軸（傳感器）	40mm
Z軸（立柱）	400mm
粗糙度測(cè)量精度
示值誤差 1	0.001μm
示值誤差 2	≤±7％
輪廓儀測(cè)量精度
X軸 (L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離)	±(1.2+L/300)μm
Z1軸 (H=Z1軸方向測(cè)量高度)	±(1+2H/100)μm
X軸水平臂
直線度	1μm/100mm
光柵分辨率	0.1μm
光柵產(chǎn)地	進(jìn)口
Z1軸傳感器
分辨率	0.05μm
傳感器類(lèi)型	光柵傳感器
產(chǎn)地	進(jìn)口
移動(dòng)方向	前/后雙方向
測(cè)力	0.5-6g
測(cè)針針尖	硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm
爬坡角度	上升77度下降88度
驅(qū)動(dòng)行程
大驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度	17.5mm/0.71 inch
小驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度	1.3mm/0.052 inch
粗糙度速度
測(cè)量速度	0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s
輪廓儀速度
測(cè)量速度	0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）
定位速度	0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）
圖形放大/縮小
圖形放大	可任意縮小、放大
綜合調(diào)整臺(tái)
綜合調(diào)整臺(tái)	X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30° Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）
安裝要求
電源	220-240V AC, 50HZ，單獨(dú)地線；大功率消耗450W
壓縮空氣	純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）
環(huán)境要求	工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露），良好地線，無(wú)明顯振源