Seya Namioka 結構真空紫外光譜儀

Seya Namioka 結構采用一片凹面光柵完成衍射與成像，包含角約70°。單反射面具備較低反射損失，最短適用波長可達30nm。儀器可配置入射、出射狹縫構成單色儀，采用全息校正光柵或非球面光柵進行像場校正時可搭配CCD等平面探測器使用。

圖1 234/302 光譜儀的多種配置

234/302型200mm焦距S-N結構光譜儀是McPherson的真空紫外光譜儀，目前更新為型號Monarch。光譜儀具備200mm焦距、F/4.5相對口徑，最短適用波長可達30nm、分辨率0.1nm。234/302 配備IV類像差校正的光柵，可作為掃描單色儀使用，也可配接CCD相機等多通道探測器作為光譜儀使用；支持雙光柵塔輪、雙入口或雙出口切換、雙級聯單色儀等擴展。標準型號支持1E-6 Torr 高真空，另可選擇不銹鋼腔體的超高真空型號。

產品特點

l IV類像差校正，可搭配CCD或MCP

l 200mm焦距，F/4.5大口徑

l 靈活配置及選項：雙光柵塔輪，多出（入）口，超高真空

主要參數

光柵選型表

光譜示例

圖2 采用不同光柵獲取的He-Ne混合空芯陰極燈光譜

典型應用

l 真空紫外發光與激光

l 真空紫外可調單色光源

l 等離子體光譜診斷

l 紫外光電子能譜

更多型號產品

面向更高分辨率的需求，McPherson可提供500mm、1000mm長焦距的S-N結構光柵光譜儀，分辨率分別達到0.025、0.05nm。

圖3 Model 235（左，500mm焦距）、Model 231（右，1m焦距）S-N結構VUV光譜儀