廣東晶圓加工處理材料等離子清洗機
YZD08-5C,等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。
廣東晶圓加工處理材料等離子清洗機, 真空等離子清洗機泛指容積在5升以下,射頻電源功率在200瓦以下的等離子清洗機。根據不同的清洗和處理要求,又以射頻頻率劃分為40KHz,13.56MHz和2.54GHz三種。相比較而言,工作在40KHz射頻頻率時,其匹配簡單,所提供的射頻電源效率高,故常規的材料處理和清洗應用中較為普及。
小型等離子清洗機參數:
型號 | YZD08-5C |
外形型號 | 550mm×450mm×450mm |
銹鋼艙體 | Φ150mm×270mm (艙體內置) |
容量 | 5升 |
頻率 | 40KHz |
處理過程 | 分手動與自動控制 |
功率 | 200W |
電源 | AC220V |
,容量在5升左右的小型等離子清洗機,適合在實驗室處理硅片,化學研究等,體積不是很大,方便挪動,外觀美觀,且外殼才用特殊金屬材料,不易損壞,操作方便簡潔,PLC人機界面控制,增加材料表面的清水性以及活性,目前已供貨給國內多所大學高校,以的品質和實惠的價格得到了多所大學的*好評。
等離子技術的應用:
通過對物體表面進行等離子轟擊,可以達到對物體表面的蝕刻,活化,清洗等目的。可以顯著加強這些表面的粘性及焊接強度,等離子表面處理系統現正應用于LCD,LED,IC,PCB,SMT,BGA,引線框架,平板顯示器的清洗和蝕刻。等離子清洗過的IC可顯著提高焊線強度,減少電路故障的可能性。殘余的感光阻劑、樹脂,溶液殘渣及其他有機污染物暴露于等離子體區,短時間內就能清除。PCB制造商用等離子蝕刻系統進行去污和蝕刻來帶走鉆孔中的絕緣物。對許多產品,不論它們是應用于工業。電子、航空、健康等行業,可靠性都依靠于兩個表面之間的粘結強度。不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的復合物,等離子體都有潛能改進粘著力,提高zui終產品質量。等離子體改變任何表面的能力是安全的、環保的、經濟的。它是許多行業面臨的挑戰問題的可行的解決方案。
等離子處理的原理:
給一組電極通上射頻電源,電極之間形成高頻交變電場,區域內氣體在交變電場的激蕩下,形成等離子體,活性等離子對物體表面進行物理轟擊與化學反應雙重作用,使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質,經過抽真空排出,而達到表面處理的目的。
在整個等離子處理過程中,影響等離子處理效果的要素包括過程溫度、射頻功率、氣體分配、真空度、電極設置、靜電保護等等 小型等離子清洗機。