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日立掃描電子顯微鏡SU1510型的主機寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
一、日立掃描電子顯微鏡SU1510型的特點
1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標配低真空功能，可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。
3. 可載入直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進行元素分析。
4. 強大的鼠標控制功能，可實現電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統，潔凈無污染。
二、日立掃描電子顯微鏡SU1510型的技術規格
| 項目 | 內容 |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（高真空，30kV） |
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
| 倍率 | 5～300,000倍 |
| 加速電圧 | 0.3～30 kV |
| 樣品臺 | X 0～80 mm |
| 樣品臺控制 | 手動（可選：2軸馬達） |
| 載入樣品尺寸 | 直徑：153 mm |
| 觀察范圍 | 直徑：126 mm（XYR并用） |
| 樣品高度 | 60 mm（WD=15 mm） |
| 低真空范圍 | 6-270Pa(從菜單設定) |
| 燈絲 | 預對中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 |
| 檢測器 | 二次電子檢測器，高靈敏度半導體背散射電子檢測器 |
| EDX分析位置 | WD=15,TOA=35° |
| 真空系統 | 分子泵1臺，機械泵1臺 |
| 安全措施 | 停電，漏電，自動保護 |
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