掃描電子顯微鏡JSM-6701F是一臺場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)，采用冷陰極場發(fā)射槍、超高真空和精密的數(shù)字技術(shù)，可進行顯微結(jié)構(gòu)的高分辨率、高質(zhì)量成像。本系統(tǒng)裝配錐形場發(fā)射槍和semi-in-lens物鏡，可以在任何掃描速度下進行高分辨率的成像以及高質(zhì)量的實時圖像顯示，使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像。JSM-6701F可以處理直徑為8英寸的樣品。

JSM-6701F是高級智能計算機掃描電子顯微鏡，保證了與未來計算機技術(shù)的兼容性。它無二的圖形用戶界面可以控制條件設(shè)置、樣品臺馬達驅(qū)動、成像和數(shù)據(jù)存檔，確保操作穩(wěn)定可靠。系統(tǒng)的主計算機采用了高級網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的Window® 2000，可在條件下方便于從成像到數(shù)據(jù)處理的整個過程，使操作人員可以顯示實時圖像、通過網(wǎng)絡(luò)將數(shù)據(jù)保存到外接電腦、檢索和管理數(shù)據(jù)。

掃描電子顯微鏡JSM-6701F主要特點

1.冷場發(fā)射電子槍：10-8Pa order pressure in Gun

2.氣鎖式樣品交換、全對中大樣品臺

3.全自動聚焦、消像散、合軸、控制掃描速度

4.樣品臺標(biāo)配三軸馬達卻動，可選四、五軸馬達驅(qū)動

5.半漏磁

掃描電子顯微鏡JSM-6701F技術(shù)參數(shù)

1.分辨率：1.0nm(15kV)/2.2nm(1kV)

2.加速電壓：0.5KV-30kV

3.放大倍數(shù)：25-650K

4.樣品室尺寸：200mm直徑樣品

5.束流強度：10-13到2X10-9