特點

JSM-7200F的主要特點有：應用了浸沒式肖特基電子槍技術的電學系統；

利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能高分辨觀

察和選擇信號的TTLS系統（Through-The-Lens System）；電疊加的混

合式物鏡。

TTLS（through-the-lens系統）

TTLS（through-the-lens系統）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進行高

分辨率觀察和信號選擇的系統。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入

射電子有減速、對樣品中發射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也

能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。

此外，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓，可以調節二次電子的檢測量。這樣在極低加

速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。

因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢

測出來，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。