澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國產(chǎn)高精度表面測(cè)量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場(chǎng)景及可靠的測(cè)量性能，在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢(shì)。JS系列臺(tái)階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).

國產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀產(chǎn)品信息

澤攸科技臺(tái)階儀JS10B

產(chǎn)品介紹

手動(dòng)臺(tái)階儀

澤攸科技手動(dòng)臺(tái)階儀JS10B是一款高精度測(cè)量設(shè)備，采用一體式花崗巖結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保了測(cè)量的穩(wěn)定性和可靠性。其配備彩色攝像頭，能清晰地觀察樣品和針尖，方便定位并實(shí)時(shí)監(jiān)控掃描區(qū)域。JS10B的最大掃描長度為55mm，重復(fù)性測(cè)量偏差不超過0.5nm，適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外，它還具備臺(tái)階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測(cè)量功能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子等領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

手動(dòng)臺(tái)階儀

產(chǎn)品組成

突破三大核心技術(shù)

產(chǎn)品特色

JS10B臺(tái)階儀部分技術(shù)指標(biāo)

名稱	詳細(xì)參數(shù)
樣品尺寸	≤150mm
最大掃描長度	55mm
重復(fù)性測(cè)量偏差	≤0.5nm（1μm標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次）
探針加力范圍	0.5-50mg
垂直分辨率	0.05nm滿量程
掃描分辨率	10nm
掃描速度	5μm/s-100μm/s
掃描最大采集點(diǎn)數(shù)	200萬點(diǎn)
軟件功能	臺(tái)階、粗糙度、平整度和翹曲度測(cè)量