HSR-2iX系列磁場消除系統說明
1、系統組成
磁場消除系統主要由磁傳感器感知單元、磁場發生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成等幾部分組成。
2、工作原理
通過三分量磁場傳感器實現雜散磁場的感知，并將感知到的信號送入智能磁場控制單元；智能磁場控制單元實時產生一個電流信號，該電流通過磁場產生單元產生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場，在工作區實現了磁場的疊加從而得到穩定的磁場環境。
3、磁場產生單元
磁場產生單元實際上就是三軸磁場線圈，該線圈用以產生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場。
磁場產生單元結構根據場地的需要可以多樣化安裝，一般有兩種結構。種是采用獨立的磁場線圈框架套在電鏡外側；第二種是無需要線圈框架，直接將消磁電纜穿入無磁線槽后固定在實驗室內墻表面或埋入墻體。由于磁場是矢量，通常需要在X、Y、Z三個方向產生穩定的磁場。
4、磁傳感器感知單元
綜合考慮磁場抵消后磁場的噪聲、穩定性和抵消磁場帶寬的要求，選擇合適的三分量磁通門傳感器實現磁場感知功能。【以用戶實際要求或者勘測場地后測試數據為準】
5、磁場控制單元(Magnetic Control UNIT)
磁場控制單元是磁場消除系統的核心，主要通過高精度傳感器感知的磁場信號，進而通過快速跟蹤算法實時消除磁場的擾動，保證工作空間磁場基本處于穩定無波動狀態。
磁場控制單元采用220V交流供電，非常容易在實驗室內應用。
6、顯控軟件
顯控軟件主要有三大功能。
(1) 數據實時顯示功能：實時顯示磁場的曲線數據，便于評估磁場環境的質量。
(2) 超限報警功能：根據預設的磁場限制，進行報警。
★★★ 消除效果：
※衰減系數：α= 20×lg(B1/B2)
※頻率越低，消磁效果越好，本實驗選取了 50Hz 的干擾比較實驗效果。
※X軸方向對 50Hz 干擾消磁前后對比
消磁前：0.069V×1000×10=690nT
消磁后：0.00019V×1000×10=1.9n
型號 | HSR2iO1 | HSR2iO2 | HSR2iO3 |
用途 | 消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場 | 消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場 | 消除半導體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場。也可以消除這些工具的交流和直流磁場 |
消磁線圏 | 干擾磁場消除繞組系統自檢繞組 | 固有地磁場消除繞組 干擾磁場消除繞組 系統自檢繞組 | 固有地磁場消除繞組 干擾磁場消除繞組 系統自檢繞組 |
待消除磁場 | X,Y,Z磁場 | X,Y,Z 磁場 | X.YZ 磁場 |
磁場測量類型 | AC RMS and pk-pk | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental |
測量精度 | ±0.5% Reading ± 100pT | ±0.5% Reading ± 1 nT | ±0.5% Reading ± 1 nT |
磁場動態范圍 | <60 mG （6.0µT） | <4.8 µT pk-pk | 5 μT pk-pk |
頻率帶寬 | 25 Hz 至 3kHz | DC 至 5 kHz | DC 至 12 kHz |
噪聲限值 | <0.7nT RMS(0.1 Hz ~ 3 kHz) | 1.5nTRMS(0.1Hz ~ 5 kHz) | 0.5 nT RMS(0.1 Hz - 12 kHz) |
直流漂移 | N/A | < 2 nT/ 24 hours | < 2 nT/ 24 hours |
直流磁場限值 | N/A | ± 200 μT max | ± 200 μT max |
系統響應時間 | 10 µs 內 | 10 µs 內 | 2µs 內 |
磁場穩定性 | <2 nT/24 h@ (20°C?25°C,預熱0.5 h) | ||
衰減系數 | >50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz |
1. 生命科學領域的冷凍電鏡
2. 材料科學領域的掃描電鏡
3. 化工領域中的原理分析用電鏡
4. 半導體工藝中的缺陷分析用電鏡
5. 納米制造領域的加工精度保證
