一、定義
低溫等離子凈化器只設置相應的排風管道和排風動力（風機）,使惡臭氣體通過本設備進行分解凈化,不需添加其他物質及化學藥劑.低溫等離子凈化器是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓到達氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
二、用途與作用
低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的多種反應以降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的工藝，就是工業廢氣處理新的一種原理。
三、適用范圍
低溫等離子凈化器在廢氣處理中的應用，隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對身體的健康產生的危害；另外工業煙氣的無控制排放使大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的氧化物)的危害引起了各國的重視。
四、工作原理
低溫等離子凈化器在廢氣處理中洗滌系統用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體廢氣凈化處理，具體包括填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統等。內裝有碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的氣體被電場內所產生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉,廢氣處理的目的。
五、工藝流程
低溫等離子凈化器在廢氣處理工程中的應用較廣，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成，氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統。具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。
