特點：

1、采用國外品牌部件：循環水路設計，帶過濾部件，延長清洗爐體水路；紅外燈管壽命高達5000小時，峰值波長約為1.25微米，爐體工藝鏡面拋光。

2、高精度控溫：進口歐姆龍程序控溫表，模糊邏輯PID控溫，控溫精度可達±0.1℃。

3、快速控溫：高能流密度紅外燈和鍍金反射鏡設計，使儀器可快速加熱至1150℃；同時，爐體的熱容小，配合水冷系統和風冷系統，可實現溫度快速冷卻，提高使用效率。

4、異常報警保護：爐膛配有爐體外表溫度開關，水冷附加有流量開關。超溫報警和流量異常時均會切斷加熱，保護爐膛。

5、潔凈控溫：非電阻爐加熱，無絕熱保溫材料，更適合在潔凈環境中使用。

6、可擴展性：帶觀察窗，可配CCD，采集光學信號；預留接口，可加載電學測量模塊。

應用功能：

強誘導體薄膜的結晶化退火

注入離子后的擴散退火

半導體材料的燒成與退火條件研究

快速熱退火

快速熱氧化

快速熱氮化

電極合金化

晶向化和堅化