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VPO-300快速退火爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/7/3 10:55:51
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)214

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括： - 霍爾效應(yīng)測(cè)試儀； - 快速退火爐； - 回流焊爐，共晶爐，釬焊爐，真空燒結(jié)爐； - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)，熱蒸發(fā)鍍膜機(jī); - 探針臺(tái)，低溫探針臺(tái)，微探針臺(tái)； - 金剛石劃片機(jī)； - 球焊機(jī)，鍥焊機(jī)； - 磁控濺射鍍膜機(jī)； - 原子層沉積系統(tǒng)，等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備； - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler)； - 掃描開(kāi)爾文探針系統(tǒng)； - 光學(xué)膜厚儀； - 光刻機(jī)； - 勻膠機(jī)； - 熱板，烤膠板；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

產(chǎn)品概要：德國(guó)優(yōu)尼坦公司生產(chǎn)，樣品尺寸：12英寸晶圓或300mm x 300mm尺寸樣品，VPO-300支持惰性氣體保護(hù)、低真空、或高真空快速熱處理。

VPO-300快速退火爐產(chǎn)品信息

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

儀器特點(diǎn)：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；

參考用戶(hù)：
中科院上海技術(shù)物理所，41所，中鋁集團(tuán)，西安炬光等；