DHFC-1型功能薄膜特性測試儀
用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)、功能材料暗電導和光電導及溫度的變化的特性。
1、本底真空度:≤10 Pa,真空可控范圍:10~400Pa;
2、襯底加熱溫度:室溫~300℃;
3、測量范圍:電阻率:0.001~200Ω.cm; 電導率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm;可測晶片直徑:200mmX200mm間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%;探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;探針壓力:5~16 牛頓(總力);
4、恒流源:電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔,各檔電流連續可調;誤差<±0.5%;
5、數字電壓表:量程:0~199.99mV;分辨率:10μV;四位半紅色發光管數字顯示;輸入阻抗>1000MΩ:精度:±0.1%;
6、指針式高阻計:電阻測量范圍:1×106~1×1017Ω;精度:±10%±20%;微電流測試:1×10-5~1×10-14A;額定電壓:10、100、250、500、1000V±5%。