本測(cè)試儀是多用途綜合測(cè)量裝置，開(kāi)展半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x組成。四探針測(cè)試儀由主機(jī)、測(cè)試架等部分組成，測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度恒流源組成。非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測(cè)量系統(tǒng)等部分組成。用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)、功能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的特性。   

◆ 本底真空度：≤10 Pa，真空可控范圍：10～400Pa；

◆ 襯底加熱溫度：室溫～300℃；

◆ 測(cè)量范圍：

電阻率：0.001～200Ω.cm；  電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；   電阻：0.001～200Ω.cm；

可測(cè)晶片直徑：200mmX200mm；間距：1±0.01mm；            針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機(jī)械游移率：≤0.3%；       探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)； 

◆恒流源：電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)；誤差<±0.5%；

◆數(shù)字電壓表：

量程：0～199.99mV；   分辨率：10μV；   四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；

輸入阻抗>1000MΩ：    精度：±0.1%；

◆指針式高阻計(jì)：

電阻測(cè)量范圍：1×106～1×1017Ω；    精度：±10%±20%；

微電流測(cè)試：1×10-5～1×10-14A；     額定電壓：10、100、250、500、1000V±5%。